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금속 또는 재료를 가열·증발시켜 기판 표면에 얇은 박막(thin film)을 형성하는 증착 장비로, 고진공 환경에서 금속 증기(Al, Au, Ag 등)를 증착하여 전극 제작, 반도체 디바이스, 나노소재 연구 등에 활용

A Thermal Evaporation Chamber is a vacuum deposition system that forms thin films by heating and evaporating materials, commonly used for metal electrode deposition and semiconductor device fabrication.